ИСО 14237:2000

ИСО 14237:2000

Название на английском:
ISO 14237:2000

Название на русском:
ИСО 14237:2000

Описание на английском:
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

Описание на русском:
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов

Статус документа:
Заменен