DIN SPEC 1994 E 2016-07 PDF

Полное наименование и описание

STB DIN SPEC 1994 E 2016-07 — нормативный документ (DIN SPEC) "Testing of materials for semiconductor technology — Determination of anions in weak acids" (проверка материалов для полупроводниковой технологии — определение анионов в слабых кислотах). Стандарт описывает методику количественного определения анионов в агрессивных слабых кислотных матрицах, используемых в полупроводниковой промышленности.

Аннотация

Документ устанавливает процедуру определения хлорид-анионов, сульфатов, нитратов и фосфатов в гидрофторидной среде (включая плавиковую кислоту и растворы аммония фторида) и в уксусной кислоте в диапазоне следовых концентраций (порядка 10 нг/г — 1000 нг/г). Метод ориентирован на обеспечение контроля чистоты материалов и растворов, применяемых в изготовлении и обработке полупроводников.

Общая информация

• Статус: Withdrawn / Superseded (заменён последующей редакцией); ранее публиковался как DIN SPEC 1994:2016-07.
• Дата публикации: 01 июля 2016 (2016-07).
• Организация-издатель: Deutsches Institut für Normung (DIN).
• ICS / категории: 29.045 — Semiconducting materials (материалы для полупроводников).
• Редакция / версия: E DIN SPEC 1994:2016-07 (издание 2016, пометка E); имеется последующая редакция DIN SPEC 1994:2017-02, заменяющая этот выпуск.
• Количество страниц: 11 страниц (приблизительно).

Область применения

Стандарт предназначен для лабораторий контроля качества, аналитических центров и производственных подразделений полупроводниковой отрасли, которым необходимо определять следовые концентрации анионов в агрессивных кислотных средах (включая плавиковую кислоту, растворы аммония фторида и уксусную кислоту). Применяется для валидации чистоты материалов, контроля технологических растворов и оценки совместимости материалов с технологическими химикатами.

Ключевые темы и требования

• Определяемые ионы: хлориды, сульфаты, нитраты, фосфаты.
• Матрицы: плавиковая кислота (HF), растворы аммоний фторида (NH4F), уксусная кислота и их смеси.
• Диапазон количественного определения: примерно 10 нг/г — 1000 нг/г (следовые уровни).
• Методика: преимущественно ионная хроматография с требуемыми процедурами пробоподготовки, калибровки и контроля качества.
• Требования к пределам обнаружения, воспроизводимости и валидации методики для применения в полупроводниковой технике.

Применение и пользователи

Основные пользователи — аналитические лаборатории, отделы контроля качества на фабриках полупроводников, поставщики высокочистых химикатов и материалов (пленки, подложки, вспомогательные материалы), сервисные и контрактные лаборатории, а также научно-исследовательские подразделения, занимающиеся технологической оценкой совместимости материалов и контролем загрязнений. Стандарт полезен для специалистов по управлению чистотой технологических сред и инженеров по внедрению процессов.

Связанные стандарты

Документ входит в тематическое поле стандартов по испытаниям материалов для полупроводников; непосредственно заменён/дополнен DIN SPEC 1994:2017-02. Также релевантны национальные и международные методы по ионной хроматографии и стандартам по тестированию полупроводниковых материалов (см. перечни нормативов по полупроводниковой аналитике).

Ключевые слова

анализ следовых анионов, хлориды, сульфаты, нитраты, фосфаты, плавиковая кислота, аммоний фторид, уксусная кислота, ионная хроматография, полупроводниковые материалы, контроль чистоты.

FAQ

В: Что это за стандарт?

О: Это DIN SPEC (предварительная спецификация) под номером 1994, издание 2016 (маркировка E), описывающая методику определения анионов в слабых кислотных матрицах, применяемую для испытаний материалов в полупроводниковой технологии.

В: Что он регулирует?

О: Стандарт регламентирует аналитический метод (включая пробоподготовку, калибровку и требования к качеству измерений) для количественного определения хлоридов, сульфатов, нитратов и фосфатов в средах типа HF, NH4F и уксусной кислоты в диапазоне следовых концентраций.

В: Кто обычно использует?

О: Лаборатории контроля качества и аналитики в полупроводниковой промышленности, поставщики высокочистых химикатов, контрактные аналитические центры и исследовательские подразделения.

В: Он актуален или заменён?

О: Выпуск 2016 отмечен как withdrawn/superseded; есть последующая редакция DIN SPEC 1994:2017-02, которая заменяет выпуск 2016 и содержит актуализированную редакцию методики. При планировании применения следует ссылаться на заменяющую редакцию.

В: Это часть серии?

О: Да — документ относится к серии стандартов и спецификаций по тестированию материалов для полупроводниковой технологии; рядом находятся другие DIN и EN стандарты по методам анализа и испытаний материалов для полупроводников. Рекомендуется свериться с перечнем смежных стандартов в области полупроводниковой аналитики.

В: Какие ключевые слова?

О: анионы, хлорид, сульфат, нитрат, фосфат, ионная хроматография, плавиковая кислота, аммоний фторид, уксусная кислота, полупроводниковые материалы, контроль чистоты.