ISO 5302-2003 PDF

Полное наименование и описание

ISO 5302:2003 — Vacuum technology — Turbomolecular pumps — Measurement of performance characteristics. Стандарт устанавливает методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов (производительность, пропускная способность, компрессионное отношение и сопутствующие характеристики) и применим ко всем размерам и типам турбомолекулярных насосов, с механическими или магнитными подшипниками и с дополнительными или без дополнительных ступеней нагнетания/поддержки.

Аннотация

Стандарт описывает методики испытаний и измерений, необходимые для получения воспроизводимых и сопоставимых данных по производительности турбомолекулярных насосов. В документе заданы общие требования к установке испытательной системы, условиям испытаний, параметрам, которые должны регистрироваться (объемный расход/скорость откачки, давление на входе и на байпасе/подпитке, пропускная способность, компрессия для разных газов) и указания по оформлению результатов.

Общая информация

• Статус: Отозван (Withdrawn).
• Дата публикации: июль 2003 (издание 1, 2003).
• Организация-издатель: Международная организация по стандартизации (ISO). Технический комитет: ISO/TC 112 (Vacuum technology).
• ICS / категории: 23.160 (Vacuum technology).
• Редакция / версия: Edition 1 (2003).
• Количество страниц: 14 страниц (ориентировочно по выпущенному тексту стандарта).

Область применения

Норматив предназначен для производителей, испытательных лабораторий и пользователей турбомолекулярных вакуумных насосов, которым требуется единый метод получения характеристик производительности, пригодных для сопоставления приборов разных типов и размеров. Стандарт охватывает измерения в типичных условиях испытательной установки, включая различные газовые среды и условия подпитки/опоры.

Ключевые темы и требования

• Определение и измерение зависимости объемного расхода (скорости откачки) от давления на входе насоса.
• Измерение пропускной способности (throughput) и её связь с производительностью насоса и условиями подкачки/выхлопа.
• Построение и определение компрессионного отношения в зависимости от подпорного давления и типа газа.
• Требования к испытательной установке: схемы подключения, средства измерения давления и расхода, калибровка и учёт влияния подпорного (бек-энда) насоса.
• Указания по регистрации данных, представлению кривых и учёту неопределённостей измерений.

(Перечисленные пункты обобщают основные положения стандарта и типичные требования, описанные в тексте документа.)

Применение и пользователи

Стандарт прежде всего полезен производителям турбомолекулярных насосов, метрологическим и испытательным лабораториям, научно-исследовательским организациям и предприятиям, где используются высоковакуумные системы (полупроводниковая, оптическая, научная аппаратура и др.). Он обеспечивает единообразие тестов при сравнении характеристик насосов и при приемосдаточных испытаниях.

Связанные стандарты

ISO 5302:2003 вошёл в область более широкого пересмотра методик измерения характеристик вакуумных насосов и впоследствии был заменён/обновлён в рамках серии ISO 21360 («Standard methods for measuring vacuum‑pump performance»), в частности Part 4: Turbomolecular vacuum pumps (ISO 21360-4:2018 и последующие редакции/проекты). При работе рекомендуется ориентироваться на актуальные части серии ISO 21360 и национальные адаптации.

Ключевые слова

вакуумная техника; турбомолекулярные насосы; измерение характеристик; скорость откачки; пропускная способность; компрессионное отношение; испытательная методика; ISO/TC 112.

FAQ

В: Что это за стандарт?

О: Международный стандарт, описывающий методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов (объемный расход/скорость откачки, пропускная способность, компрессионное отношение и т. п.).

В: Что он регулирует?

О: Стандарт регламентирует методики испытаний и порядок измерения ключевых параметров работы турбомолекулярных насосов, требования к испытательной установке, порядок регистрации результатов и учёт погрешностей для получения воспроизводимых и сравнимых данных.

В: Кто обычно использует?

О: Производители насосов, испытательные и метрологические лаборатории, инженеры по вакуумным системам в научных и промышленных организациях, а также специалисты по приёмке и сертификации оборудования.

В: Он актуален или заменён?

О: ISO 5302:2003 официально отозван (withdrawn). Его содержание было пересмотрено и интегрировано в более новую серию стандартов ISO 21360; конкретно часть, посвящённая турбомолекулярным насосам, опубликована как ISO 21360-4:2018 (и далее сопровождается текущими редакциями/проектами на замену). Замена и дата отзыва фиксировались в национальных и международных каталогах (одни источники указывают ноябрь—декабрь 2018 г. как период официального вывода из оборота/подтверждения замены).

В: Это часть серии?

О: Да. Тематика измерений характеристик вакуумных насосов теперь рассматривается в рамках серии ISO 21360 — «Standard methods for measuring vacuum‑pump performance», где часть 4 посвящена турбомолекулярным насосам (ISO 21360-4).

В: Какие ключевые слова?

О: Вакуум; турбомолекулярный насос; измерение; производительность; компрессионное отношение; пропускная способность; скорость откачки; методика испытаний; ISO 5302; ISO 21360.