BS EN 62047-3-2006 PDF

Полное наименование и описание

СТБ BS EN 62047-3-2006 — Semiconductor devices. Micro‑electromechanical devices. Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing. Стандарт задаёт форму, размеры и требования к тонкоплёночным стандартным образцам, а также требования к проведению испытаний на растяжение для материалов, используемых в MEMS и микромашинах.

Аннотация

Стандарт определяет конструкцию и эксплуатационные характеристики стандартного тонкоплёночного образца, применяемого для калибровки и валидации устройств и методик механических испытаний на растяжение тонких плёнок (где поперечные размеры образца менее 1 мм, толщина — порядка единиц микрометров). Предназначен для обеспечения сопоставимости результатов и минимизации разброса характеристик между образцами.

Общая информация

• Статус: Действующий / идентичен публикации IEC 62047-3:2006 и EN 62047-3:2006.
• Дата публикации: Оригинальная международная публикация IEC: 15 августа 2006; публикация в виде BS EN: 30 ноября 2006.
• Организация-издатель: Международный оригинал — IEC (TC 47), национальная/европейская версия — BSI/EN (BS EN 62047-3:2006).
• ICS / категории: 31.080.99 (Другие полупроводниковые устройства / микроэлектромеханические системы).
• Редакция / версия: Edition 1.0 (2006).
• Количество страниц: Варианты изданий: при публикации BS/EN указывается около 12 страниц, у оригинала IEC — около 15 страниц (отличия в форматировании между издателями возможны).

Область применения

Стандарт применяется в лабораториях контроля качества, научно‑исследовательских подразделениях и у производителей MEMS/микромашин для калибровки и проверки систем растягивающих испытаний тонкоплёночных материалов, используемых в полупроводниковой и микроэлектромеханической промышленности. Описывает требования к образцам, процедурам измерений и сопроводительной документации.

Ключевые темы и требования

• Определение геометрии и размеров тонкоплёночного стандартного образца (форма, зонa измерения).
• Материалы образцов и требования к изготовлению для минимизации разброса характеристик.
• Требования к толщине плёнки, допускам и маркировке (gauge marks) для считывания деформации.
• Процедуры испытаний на растяжение: условия оборудования, скорость растяжения, регистрация усилий и перемещений.
• Критерии приёмки/сопоставимости результатов для калибровки испытательных систем.
• Форматы сопроводительной документации и эталонные значения для контрольных образцов.

Применение и пользователи

Основные пользователи: испытательные и калибровочные лаборатории материаловедения, исследовательские лаборатории в сфере MEMS, производители тонкоплёночных структур и полупроводниковых приборов, разработчики методик механического тестирования микро‑ и наноструктур. Стандарт полезен для тех, кто проводит метрологическую проверку систем растяжения для тонких плёнок.

Связанные стандарты

Данный документ является частью серии стандартов IEC/EN/BS EN 62047, охватывающей различные методы контроля и испытаний для микроэлектромеханических устройств; EN/IEC версии других частей серии описывают дополнительные тесты и методики, совместимые по назначению и ссылочным нормам с частью 3.

Ключевые слова

тонкоплёночный образец, растяжение, испытание на разрыв, MEMS, микроэлектромеханические устройства, полупроводниковые устройства, калибровка, gauge mark, тестовый образец.

FAQ

В: Что это за стандарт?

О: Это стандарт, задающий форму и требования к тонкоплёночному стандартному образцу, используемому при испытаниях на растяжение материалов для MEMS и подобных микроустройств.

В: Что он регулирует?

О: Регламентирует геометрию образца, требования к материалам и изготовлению, методику проведения испытания на растяжение и требования к документации для обеспечения сопоставимости результатов и калибровки испытательных систем.

В: Кто обычно использует?

О: Испытательные и метрологические лаборатории, исследовательские группы в области MEMS, производители тонкоплёночных структур и полупроводникового оборудования, а также разработчики методик механических испытаний.

В: Он актуален или заменён?

О: На момент публикации и в последующих переизданиях документ считался действующим; оригинальная международная публикация — IEC 62047-3:2006, европейская/британская версия — EN/BS EN 62047-3:2006. Для подтверждения актуальности в конкретной юрисдикции рекомендуется сверить статус в национальной базе стандартов.

В: Это часть серии?

О: Да — часть серии стандартов IEC/EN 62047, посвящённой испытаниям и требованиям для микроэлектромеханических устройств; в серии имеются и другие части, охватывающие дополнительные методы испытаний и тестовые образцы.

В: Какие ключевые слова?

О: Тонкая плёнка, образец для растяжения, MEMS, механические испытания, калибровка испытательного оборудования, полупроводниковые устройства.