PD ISO TS 20175-2018 PDF

Полное наименование и описание

СТБ PD ISO TS 20175-2018 — Vacuum technology. Vacuum gauges. Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement. Документ описывает методы и процедуры характеристики квадрупольных масс-спектрометров (QMS) с ионизацией электронным ударом для измерения частичных давлений при отношениях масса/заряд m/z < 300, а также ограничения области применения и требования к поверке и калибровке приборов.

Аннотация

Стандарт даёт набор процедур для метрологической характеристики квадрупольных масс-спектрометров, включая рекомендации по оценке чувствительности, стабильности и воспроизводимости, методы калибровки (в лаборатории с трассировкой к СИ и в условиях эксплуатации), и способы проверки параметров при типовых применениях: непрерывный мониторинг утечек, определение скорости утечки с трейсирующим газом, остаточный газовый анализ и измерения скоростей выделения газов (outgassing). Документ также оговаривает, какие типы источников и диапазоны m/z не охватываются, и указывает ограничения по давлению на входном фланце (не превышать примерно 1 Па для описанных приборов).

Общая информация

• Статус: Published (действует).
• Дата публикации: апрель 2018 (Edition 1, 2018-04).
• Организация-издатель: Международная организация по стандартизации (ISO); национальное обозначение/выпуск: СТБ PD ISO TS 20175-2018 (национальное принятие/PD‑версия).
• ICS / категории: 23.160 — Vacuum technology (вакуумная технология).
• Редакция / версия: Edition 1 (2018).
• Количество страниц: 23 страницы (оригинальное ISO‑издание); в некоторых национальных изданиях/PD‑версиях встречается иное число страниц (например, 32 страницы в каталожной записи национального выпуска).

Область применения

Документ применим к квадрупольным масс‑спектрометрам с источником электронного ударного ионирования, предназначенным для измерения частичных давлений ионов с m/z < 300. Он не распространяется на приборы с иными типами источников ионизации (химическая ионизация, фото‑ и полевая ионизация и т. п.), а также не охватывает системы с дифференциальным откачиванием, используемые для работы при давлениях выше указанных (практическое ограничение — входное давление не более ≈1 Па). Стандарт ориентирован на пользователей, знакомых с вакуумной техникой и эксплуатацией QMS.

Ключевые темы и требования

• Методы метрологической характеристики QMS: оценка чувствительности, разрешающей способности и стабильности показаний.
• Процедуры калибровки с трассировкой к СИ и практические рекомендации по частым in situ проверкам и поддержанию калибровки.
• Рекомендации по режимам измерения (скан‑режим предпочтителен для минимизации неопределённости по сравнению с trend‑режимом).
• Описаны специфические применения: непрерывный мониторинг утечек, измерение скорости утечек с трейсирующим газом, остаточный газовый анализ, измерения outgassing.
• Ограничения: диапазон m/z < 300, недопустимость использования для приборов с другими источниками ионизации и для входного давления выше оговоренного предела.

Применение и пользователи

Стандарт ориентирован на метрологические и калибровочные лаборатории, производителей и сервисные центры квадрупольных масс‑спектрометров, специалистов по вакуумной технике, исследовательские лаборатории и отрасли, где требуется надёжный анализ остаточных газов и контроль утечек (например, микроэлектроника, аэрокосмическая техника, научно‑исследовательские установки). Рекомендации стандарта полезны как для лабораторных калибровок, так и для регулярных проверок в полевых условиях.

Связанные стандарты

Смежные публикации по вакуумной технике и измерениям outgassing — в частности ISO/TS 20177:2018 (Procedures to measure and report outgassing rates) и другие документы технического комитета ISO/TC 112, которые дополняют требования по методикам измерений в вакууме и отчётности результатов.

Ключевые слова

квадрупольный масс‑спектрометр, QMS, вакуумные манометры, измерение частичных давлений, анализ остаточных газов, контроль утечек, outgassing, калибровка, трассировка к СИ, вакуумная технология.

FAQ

В: Что это за стандарт?

О: Техническая спецификация ISO/TS 20175:2018 (в национальном обозначении — СТБ PD ISO TS 20175-2018) содержит процедуры характеристики квадрупольных масс‑спектрометров для измерения частичных давлений, включая рекомендации по калибровке и оценке метрологических характеристик прибора.

В: Что он регулирует?

О: Документ регламентирует методы и процедуры для определения чувствительности, стабильности и других метрологических параметров QMS при измерении частичных давлений (m/z < 300), а также использует эти процедуры для конкретных приложений: мониторинг утечек, измерение скоростей утечек с трейсингом, остаточный газовый анализ и измерения выделения газов. Также он указывает ограничения по типу ионизационного источника и рабочему давлению.

В: Кто обычно использует?

О: Метрологические и калибровочные лаборатории, специалисты по вакуумной технике, производители и сервисные организации QMS, инженеры по контролю утечек и исследовательские лаборатории в областях микроэлектроники, аэрокосмической техники и пр. — все, кто нуждается в воспроизводимых и трассируемых измерениях частичных давлений.

В: Он актуален или заменён?

О: ISO/TS 20175:2018 опубликован в апреле 2018 года и по состоянию на последний обзор остаётся действующим; международная страница стандарта указывает, что издание 2018 было подтверждено при последнем систематическом обзоре. Национальная PD‑версия также помечена как действующая. При необходимости точной актуальности рекомендуется проверять статус в национальном органе по стандартизации.

В: Это часть серии?

О: Да — документ связан с другими публикациями ISO по вакуумной технике и вакуумным манометрам (работа TC 112). В частности, смежной технической спецификацией является ISO/TS 20177:2018 (процедуры измерения и отчётности по скоростям выделения газов), которые дополняют требования по измерениям outgassing.

В: Какие ключевые слова?

О: квадрупольный масс‑спектрометр, QMS, частичное давление, вакуум, мониторинг утечек, остаточный газовый анализ, outgassing, калибровка, трассировка к СИ, вакуумная метрология.