Название на английском:
GOST R 71422-2024
Название на русском:
ГОСТ Р 71422-2024
Описание на русском:
Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа