State system for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods

Описание на русском:
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Статус документа:

Действующий

Формат:

Электронный (PDF)

Количество страниц:

Срок поставки (английская версия):

2 рабочих дня(ей)

Срок поставки (русская версия):

1 рабочий день

Артикул (SKU):

GOST26866