Название на английском:
GOST R 8.659-2009
Название на русском:
ГОСТ Р 8.659-2009
Описание на русском:
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки