STM PDF
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 12- Метод испытания тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации структур MEMS. IEC 62047-12:2011. Оригинальный стандарт IEC 62047-12-2011 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 13- Изгиб - и сдвиг - методы типовых испытаний для измерения прочности сцепления конструкций MEMS. IEC 62047-13:2012. Оригинальный стандарт IEC 62047-13-2012 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 14- Метод измерения предела формования металлических пленочных материалов. IEC 62047-14:2012. Оригинальный стандарт IEC 62047-14-2012 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 15- Метод испытания прочности сцепления между PDMS и стеклом. IEC 62047-15:2015-03(en-fr). Оригинальный стандарт IEC 62047-15-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Withdrawn
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 16- Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок MEMS - Методы кривизны пластины и отклонения консольной балки. IEC 62047-16:2015-03(en-fr). Оригинальный стандарт IEC 62047-16-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 17- Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок. IEC 62047-17:2015-03(en-fr). Оригинальный стандарт IEC 62047-17-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Статус: Действующий